射频磁控溅射镀膜装置

射频磁控溅射镀膜装置 型号：RT-RM-1

主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜；如各种硬质膜、金属膜；也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射，亦可以实现反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置

主要特点：结构简捷、操作简便，真空度维护高，安全可靠。

镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内，并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。

1、地面的基本水平度要经过调整，不得高低不平；

2、环境温度：10℃～30℃；

3、相对湿度：不大于75%；

4、耗水量（进水温度≤25℃，2.5Kg≥水压≥1.5Kg）：约0.2T/h；

5、水质要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，电导率：200us/cm,沉积率：<200mg/L。

6、电压： 220V，50H_Z，

电压波动范围： 198～231V；

频率波动范围：49～51Hz;

7、水压：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入气体纯度99.9%或以上;

9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。

设备规格参数

1.1、溅射处理室：

       1、钟罩：内径225mm×高度260mm；

       2、试样台：直径80mm（zui大）；

       3、试样旋转：静止；

       4、挡板：手动；

       5、衬底加热器：不锈钢加热器（DC24V）；

       6、衬底温度范围：室温～200℃；

       7、衬底可调距离：20mm～60mm；

       8、溅射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系统：

       1、抽气系统：由机械泵组成的一级真空系统；抽气速率：4升/S

       2、真空检测：电阻真空计、电阻规；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手动

1.3、溅射电源：

1、射频电源：频率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；

2、阻抗匹配器范围：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、供电：AC 220V；

4、冷却方式：风冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材直径：Ф50mm、 一个永磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、进气系统：2路转子流量计进气，

1.6、电源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、气体要求：氩气--纯度99.9%（样品有特殊要求时使用高纯）

1.8、冷却要求：靶体水冷，溅射电源风冷

1.9、体积重量：体积：L550mm×W680mm×H1480mm；约120kg

产品名称：标准应变模拟仪 产品型号：LK2306

标准应变模拟仪 型号LK2306
标准应变模拟仪 
特点：六个盘共六十个挡， 
LK2306型标准应变模拟仪就是用来完成静态电阻应变仪的读数误差和灵敏度系数误差；动态应变仪的灵敏度系数误差、标定误差、振幅特性误差、衰减误差等项校验功能。 
技术指标 
1.测量范围：0.1～100000με（六盘） 
2.灵敏度系数：Ｋ＝2.00 
3.基本误差： 
     DC：±0.05％±0.1με； 
     ＜5k：±0.05％±0.2με； 
     5k～10k：±0.1％±0.5με 
4.工作频率：0～10kHz 
5.zui大工作电压：10V 
6.桥臂不对称性：≤50με  
7.桥臂电阻：R＝120Ω

产品名称：台式数字特斯拉计 产品型号： HT-118

台式数字特斯拉计型号： HT-118

台式数字特斯拉计结合北京同德公司近年对磁性产品的经验和研究成果研制出的一种实用的台式数字高斯计。此款高斯计人性化设计，操作简单方便，精度达到0.5%，并可以通过信号输出端口与计算机连接，以达到测量数据的存储和分析。 
  
量程范围：0-5.000mT、0.00-300.00mT、0.0mT-3000.0mT 
基本误差：±0.5% 读数 
分辨率：0.001m T 、0.01mT、0.1 mT 
被测磁场：DC-200Hz 
功能说明：大值/小值保持、分选功能、多重单位显示mT、Gs、Oe、kA/m 
环境温度：5℃-40℃   
相对湿度：20%-80%（无凝露） 
供电电源：AC220V 50Hz 
外型尺寸：260mm × 300mm × 100mm 
仪器重量：2.8Kg 
显示方式：字符型背光显示屏，5位数字 
显示单位：mT、Gs、Oe、kA/m 
备    注：1mT=10Gs